[实用新型]一种光学膜厚监控系统有效
| 申请号： | 201320285263.2 | 申请日： | 2013-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN203349788U | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 朱子诚 | 申请（专利权）人： | 光驰科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200444 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光学膜厚监控系统，包括放置在基板支架上的测试片、固定在测试片下方的光源和设置在测试片上方的进光口，所述的进光口通过光纤与外部的数据处理模块相连，还包括用于旋转所述测试片的旋转装置和安放在所述测试片上朝向所述光源一侧的测试片盖，所述测试片盖上设有镂空区域。采用本实用新型提供的光学膜厚监控系统后，由于该系统支持测试片的旋转，可以减少膜厚的增加给系统所带来的误差，监控精度将变得更为准确，镀膜的光学特性将变得更为优异。而且在镀膜过程中，测试片的旋转无需人工操作，不需要将测试片从真空室中取出，实现了全程自动化，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 监控 系统 | ||
【主权项】：
一种光学膜厚监控系统，包括放置在基板支架上的测试片、固定在测试片下方的光源和设置在测试片上方的进光口，所述的进光口通过光纤与外部的数据处理模块相连，其特征在于：还包括用于旋转所述测试片的旋转装置和安放在所述测试片上朝向所述光源一侧的测试片盖，所述测试片盖上设有镂空区域。
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