[实用新型]倾斜式真空磁控连续生产线和真空镀膜机

摘要

本实用新型公开一种倾斜式真空磁控连续生产线，包括机架和安装在该机架上的真空室体，真空室体包括依次顺序相连的两个前缓冲室、镀膜室和两个后缓冲室，机架上还安装有贯穿上述真空室体的传送带，传送带将其上携带有基片的金属框送入前缓冲室前缓冲处理、再送至镀膜室镀膜，最后在后缓冲室内后缓冲处理后从真空室体内送出；金属框的框体与水平方向呈一4-150倾斜角度。采用本实用新型的倾斜式真空磁控连续生产线，在基片镀膜处理的过程中，载有基片的金属框始终保持与水平方向呈4-150的倾斜角度，放置在金属框上的基片可以无需夹具而直接靠放在金属框侧壁内，所有装片便捷快速，且生产中无夹具印，很容易实现机械手全自动上下片。

主权项

一种倾斜式真空磁控连续生产线，包括机架和安装在该机架上的真空室体，所述真空室体包括依次顺序相连的两个前缓冲室、镀膜室和两个后缓冲室，所述机架上还安装有贯穿上述真空室体的传送带，该传送带上设有运载基片的金属框，其特征在于， 所述金属框的框体与水平方向呈一倾斜角度，且该倾斜角度为4‑15°；所述金属框内还设有多根相互垂直的隔梁，该隔梁将所述金属框内分隔成多个方块形状组成的栅格形结构。