[实用新型]一种用于扩散炉炉门的固定装置有效
| 申请号： | 201320226665.5 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN203274502U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 赵之俊;刘明;赵峰 | 申请（专利权）人： | 康可电子(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18 |
| 代理公司： | 无锡华源专利事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 冯智文 |
| 地址： | 214142 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于扩散炉炉门的固定装置，包括固定本体，固定本体上对称开有安装孔位于两安装孔之间，于固定本体的上部还开有螺钉安装孔。利用本实用新型可直接连接顶针及炉门，同时本实用新型安装于桨传动头上，大大节省了移动桨的空间，实现了移动桨占有空间的最小化，还使移动桨能伸入炉内的长度增加，同时也增加硅片的放置数量，提高了硅片的生产效率以及掺杂均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扩散 炉门 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种用于扩散炉炉门的固定装置，其特征在于：包括固定本体（203），固定本体（203）上对称开有安装孔（201）位于两安装孔（201）之间，于固定本体（203）的上部还开有螺钉安装孔（202）。
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