[实用新型]一种用于扩散炉炉门的固定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及扩散炉零部件领域，尤其涉及一种用于扩散炉炉门的固定装置。

背景技术

 扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，通常扩散炉的炉门通过顶针与固定装置连接，固定装置安装在移动桨上，移动桨和桨传动头连接，这种连接结构使炉门以及固定装置各自占用了移动桨的长度，由于在移动桨上还需要放置硅片，这样就间接减少了硅片长度（也就是硅片的放置数量减少），桨进入扩散炉炉内的长度也减少，硅片无法完全处于理想气体中，导致气体掺杂均匀性不佳。

实用新型内容

本申请人针对上述现有问题，进行了研究改进，提供一种结构简单、安装方便的用于扩散炉炉门的固定装置，不仅节省了移动浆的占用空间，还提高了生产效率及改善了工艺质量。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种用于扩散炉炉门的固定装置，包括固定本体，固定本体上对称开有安装孔位于两安装孔之间，于固定本体的上部还开有螺钉安装孔。

其进一步技术方案在于：

所述固定本体的两端为弧形；

所述安装孔为圆孔。

本实用新型的有益效果如下：

利用本实用新型可直接连接顶针及炉门，同时本实用新型安装于桨传动头上，大大节省了移动桨的空间，实现了移动桨占有空间的最小化，还使移动桨能伸入炉内的长度增加，同时也增加硅片的放置数量，提高了硅片的生产效率以及掺杂均匀性。

附图说明

图1为本实用新型的主视图。

图2为图1的俯视图。

图3为本实用新型安装后的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实用新型的具体实施方式。

如图1所示，本实用新型包括固定本体203，固定本体203的两端为弧形。固定本体203上对称开有安装孔201，安装孔201为圆孔，位于两安装孔201之间，于固定本体203的上部还开有螺钉安装孔202。

本实用新型的具体安装过程如下：

如图3所示，通过螺钉以及螺钉安装孔202将本实用新型与桨传动头1固接，于本实用新型的安装孔201中插装顶针3的一端，顶针3的另一端与炉门4连接，在桨传动头1上还贯穿安装移动桨5，该连接结构实现了桨传动头1与移动桨5的直接连接，不需要在移动桨上安装其他任何部件，有效的节省了移动桨5的空间。

本实用新型的具体工作过程如下：

当在移动桨5上装置硅片后，扩散炉炉门受指令时，移动浆5向炉门内移动，由于本实用新型安装在桨传动头1上，桨传动头1又安装在移动桨5上，所以同步移动，当移动桨5达到指定位置后，此时炉门4正好与扩散炉的炉口重合并紧闭后受力，此时顶针3被石英连杆（图中未示出）顶出，炉门4关紧。

利用本实用新型可直接连接顶针及炉门，同时本实用新型安装于桨传动头上，大大节省了移动桨的空间，实现了移动桨占有空间的最小化，还使移动桨能伸入炉内的长度增加，同时也增加硅片的放置数量，提高了硅片的生产效率以及掺杂均匀性。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在不违背本实用新型的基本结构的情况下，本实用新型可以作任何形式的修改。