[实用新型]MO源的简易分装设备有效
| 申请号： | 201320192278.4 | 申请日： | 2013-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN203269531U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 冯汝明;李大亮;俞爱斌;陈微微;王昕;汪亚兵;金莉 | 申请（专利权）人： | 上海宏锐新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B67C3/10 | 分类号： | B67C3/10 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201306 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MO源的简易分装设备，包括：第一、第二、第三管路以及设置于所述第一、第二、第三管路上的多个阀门；其中，所述第一管路连通到第一MO源瓶，所述第二管路分别与第二、第三MO源瓶相连，所述第三管路分别与所述第一、第二、第三MO源瓶连通，并且所述第三管路的输入端与所述第二管路的输入端相互连通。本实用新型以高纯氩气为气源，在微正压下将MO源由大容积的第一MO源瓶转移至小容量的第二、第三MO源瓶中，整个分装过程无水无氧，且无任何外界杂质干扰，确保了MO源的纯度，并且本实用新型的分装过程简单，分装效率高，可以很好的应用于MO源的工业分装过程中。 | ||
| 搜索关键词： | mo 简易 分装 设备 | ||
【主权项】：
一种MO源的简易分装设备，其特征在于，包括：第一、第二、第三管路以及设置于所述第一、第二、第三管路上的多个阀门；其中，所述第一管路连通到第一MO源瓶，所述第二管路分别与第二、第三MO源瓶相连，所述第三管路分别与所述第一、第二、第三MO源瓶连通，并且所述第三管路的输入端与所述第二管路的输入端相互连通。
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