[实用新型]MO源的简易分装设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及高纯金属有机化合物的生产技术领域，尤其涉及一种MO源的简易分装设备。

背景技术

MO源即高纯金属有机化合物，是先进的金属有机化学气相沉积(MOCVD)、金属有机分子束外延(MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。由于MO源产品要求纯度极高，而绝大多数MO源化合物对氧气、水汽极其敏感，遇空气可发生自燃，遇水可发生爆炸，且毒性大。

因此，MO源的生产与罐装条件都非常苛刻，即使在零下70摄氏度，仍能够与水、氧气剧烈反应，因此即使痕量的水、空气等杂质都严重影响了MO源的品质。由于MO源极高的活泼性，因此导致MO源灌装流程较为复杂。

实用新型内容

本实用新型提供一种MO源的简易分装设备，可以在无污染的情况下将MO源由大容量源瓶分装到各种小容量源瓶。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种MO源的简易分装设备，包括：第一、第二、第三管路以及设置于所述第一、第二、第三管路上的多个阀门；其中，所述第一管路连通到第一MO源瓶，所述第二管路分别与第二、第三MO源瓶相连，所述第三管路分别与所述第一、第二、第三MO源瓶连通，并且所述第三管路的输入端与所述第二管路的输入端相互连通。

作为优选，所述第三管路的输出端分别位于所述第二、第三MO源瓶的顶部。

作为优选，所述第一管路的输出端位于所述第一MO源瓶的顶部。

作为优选，所述第二管路的输出端分别位于所述第一、第二、第三MO源瓶的顶部。

作为优选，所述阀门包括设置于所述第一、第二、第三管路的输入端的第一阀门和设置于输出端的第二阀门。

作为优选，所述阀门还包括设置于所述第三管路的输入端与输出端之间的第三阀门。

作为优选，所述第一管路和第二管路中为高纯氩气管线。

作为优选，所述第三管路为真空管线。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：本实用新型以高纯氩气为气源，在微正压下将MO源由大容积的第一MO源瓶转移至小容量的第二、第三MO源瓶中，整个分装过程无水无氧，且无任何外界杂质干扰，确保了MO源的纯度，并且本实用新型的分装过程简单，分装效率高，可以很好的应用于MO源的工业分装过程中。

附图说明

图1为本实用新型一具体实施方式中MO源的简易分装设备的结构示意图。

图中：L1-第一管路、L2-第二管路、L3-第三管路、110-第一阀门、120-第二阀门、130-第三阀门、210-第一MO源瓶、220-第二MO源瓶、230-第三MO源瓶。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型提供一种MO源的简易分装设备，如图1所示，包括：第一、第二、第三管路L1、L2、L3以及设置于所述第一、第二、第三管路L1、L2、L3上的多个阀门；其中，所述第一管路L1连通到第一MO源瓶210，所述第二管路L2分别与第二、第三MO源瓶220、230相连，所述第三管路L3分别与所述第一、第二、第三MO源瓶210、220、230连通，并且所述第三管路L3的输入端与所述第二管路L2的输入端相互连通。

请继续参照图1，所述阀门包括设置于所述第一、第二、第三管路L1、L2、L3的输入端的第一阀门110、设置于所述第一、第二、第三管路L1、L2、L3的输出端的第二阀门120以及设置于所述第三管路L3的输入端与输出端之间的第三阀门130。较佳的，所述第一管路L1的输出端位于所述第一MO源瓶210的顶部；所述第二管路L2的输出端分别位于所述第一、第二、第三MO源瓶210、220、230的顶部；所述第三管路L3的输出端分别位于所述第二、第三MO源瓶的顶部。

请继续参照图1，采用本实用新型MO源的简易分装设备的工作过程为：

以高纯度三烷基镓为例，并且所述第一、第二、第三MO源瓶210、220、230的容量分别为50L、4L和1L。首先，打开第一管路L1上的阀门、打开第二管路L2上的第二阀门120并关闭第三阀门130；

在所述第一管路L1中通入高纯氩气，使得第一MO源瓶210中的样品（三烷基镓）经第二管路L2进入到第二、第三MO源瓶220、230中；

接着，关闭第一管路L1上的阀门，打开第二管路L2的第三阀门130并关闭第二管路L2与所述第一MO源瓶210连通处的第二阀门120以及第三管路L3上的各阀门；