[实用新型]一种高精度位移检测装置有效
| 申请号： | 201320171481.3 | 申请日： | 2013-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN203310374U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 曹晓君;伏碧德;龚婧瑶;白春 | 申请（专利权）人： | 辽宁科旺光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 115000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高精度位移检测装置，属于光检测领域。该装置包括：短相干光源、准直透镜、起偏器、分光器、聚焦透镜、反射镜、检偏器、图像传感装置和两个1/4波片；其中，短相干光源、准直透镜、起偏器、分光器、第一1/4波片和反射镜呈一排依次排列成为第一光路；聚焦透镜、第二1/4波片、所述分光器、检偏器和图像传感装置呈一排依次排列成为第二光路；所述第一光路与第二光路经所述分光器交汇且所述两光路相互垂直；短相干光源的光输出端朝向所述准直透镜；所述反射镜在所述第一光路中倾斜设置，并能调整在所述第一光路中倾斜的角度。该检测装置结构简单、紧凑，测量精度高，测量范围可方便调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 位移 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种高精度位移检测装置，其特征在于，包括：短相干光源、准直透镜、起偏器、分光器、聚焦透镜、反射镜、检偏器、图像传感装置和两个1/4波片；其中，所述短相干光源、准直透镜、起偏器、分光器、第一1/4波片和反射镜呈一排依次排列成为第一光路；所述聚焦透镜、第二1/4波片、所述分光器、检偏器和图像传感装置呈一排依次排列成为第二光路；所述第一光路与第二光路经所述分光器交汇且所述两光路相互垂直；所述短相干光源的光输出端朝向所述准直透镜；所述反射镜在所述第一光路中倾斜设置，并能调整在所述第一光路中倾斜的角度。
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