[实用新型]一种高精度位移检测装置

权利要求书

1.一种高精度位移检测装置，其特征在于，包括：

短相干光源、准直透镜、起偏器、分光器、聚焦透镜、反射镜、检偏器、图像传感装置和两个1/4波片；其中，

所述短相干光源、准直透镜、起偏器、分光器、第一1/4波片和反射镜呈一排依次排列成为第一光路；

所述聚焦透镜、第二1/4波片、所述分光器、检偏器和图像传感装置呈一排依次排列成为第二光路；

所述第一光路与第二光路经所述分光器交汇且所述两光路相互垂直；

所述短相干光源的光输出端朝向所述准直透镜；

所述反射镜在所述第一光路中倾斜设置，并能调整在所述第一光路中倾斜的角度。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置中，

所述短相干光源、准直透镜、起偏器、分光器、第一1/4波片、反射镜、第一1/4波片、分光器、检偏器和图像传感装置构成第一光通路；

所述短相干光源、准直透镜、起偏器、分光器、第二1/4波片、聚焦透镜、第二1/4波片、分光器、检偏器和图像传感装置构成第二光通路。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述短相干光源采用相干长度为5～50um的LED光源。

4.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述反射镜在所述第一光路中呈一定角度倾斜放置。

5.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述第一光路中的聚焦透镜的焦点处为被测物体放置处。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置中，从所述反射镜的中心反射的光和被测物体表面反射的光到所述图像传感装置的光程差相同。

7.如权利要求1或6所述的装置，其特征在于，所述图像传感装置采用面阵CCD装置、线阵CCD装置或图像传感器中的任一种。

8.如权利要求1或6所述的装置，其特征在于，还包括：光纤，该光纤的输入端与所述聚焦透镜连接，输出端与所述第二1/4波片对应。