[实用新型]一种扭转谐振式微加速度计有效
| 申请号： | 201320149299.8 | 申请日： | 2013-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN203216497U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 孙冬娇;孟瑞丽;刘恒;李敏 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621;G01C19/5628 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 210044 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种扭转谐振式微加速度计。所述扭转谐振式微加速度计包括玻璃基座，键合在玻璃基座上的机械结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层。机械结构层包括：分别与Y轴支撑梁连接的第一质量块、第二质量块。第一质量块、第二质量块上开有均匀分布且尺寸一致的阻尼孔。金电极层中，驱动电极与检测电极之间设有接地电极。本实用新型具有扭转谐振阻尼小、同频干扰小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扭转 谐振 式微 加速度计 | ||
【主权项】：
一种扭转谐振式微加速度计，包括玻璃基座，键合在玻璃基座上的机械结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，其特征在于，所述机械结构层包括：分别与Y轴支撑梁连接的第一质量块、第二质量块，所述第一质量块的质量小于第二质量块的质量；其中，第一质量块、第二质量块关于X轴水平线自对称，且都包括：镂空的质量框架、谐振质量块、X轴支撑梁，所述谐振质量块通过X轴支撑梁与镂空的质量框架固定连接，所述X轴支撑梁沿X轴的扭转刚度小，沿Y轴的扭转刚度大。
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