[实用新型]蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置有效

专利信息
申请号: 201320142380.3 申请日: 2013-03-26
公开(公告)号: CN203230692U 公开(公告)日: 2013-10-09
发明(设计)人: 刘根思;李显元;何静生;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 申请(专利权)人: 上海超硅半导体有限公司
主分类号: F16B11/00 分类号: F16B11/00
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 金祺
地址: 201617 上海市松*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置;包括水平台(6),所述水平台(6)上设置有水平台面,所述水平台面上设置有机械臂装置(1),所述机械臂装置(1)上设置有千分表,所述千分表的正下方设置有料板(5)。所述机械臂装置1包括可控制机架(103)、机械臂Ⅱ(102)和机械臂Ⅰ(101);所述水平台面设置有可控制机架导轨,所述可控制机架导轨上设置可控制机架(103),所述可控制机架(103)上设置有机械臂导轨Ⅱ,所述机械臂导轨Ⅱ上设置机械臂Ⅱ(102),所述机械臂Ⅱ(102)上设置有机械臂导轨Ⅰ,所述机械臂导轨Ⅰ上设置机械臂Ⅰ(101)。
搜索关键词: 蓝宝石 料板上 粘结 装置
【主权项】:
蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置;其特征是:包括水平台(6),所述水平台(6)上设置有水平台面,所述水平台面上设置有机械臂装置(1),所述机械臂装置(1)上设置有千分表,所述千分表的正下方设置有料板(5)。
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