[实用新型]蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置有效
申请号: | 201320142380.3 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN203230692U | 公开(公告)日: | 2013-10-09 |
发明(设计)人: | 刘根思;李显元;何静生;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 | 申请(专利权)人: | 上海超硅半导体有限公司 |
主分类号: | F16B11/00 | 分类号: | F16B11/00 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 金祺 |
地址: | 201617 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 料板上 粘结 装置 | ||
1.蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置;其特征是:包括水平台(6),所述水平台(6)上设置有水平台面,所述水平台面上设置有机械臂装置(1),所述机械臂装置(1)上设置有千分表,所述千分表的正下方设置有料板(5)。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置,其特征是:所述机械臂装置1包括可控制机架(103)、机械臂Ⅱ(102)和机械臂Ⅰ(101);
所述水平台面设置有可控制机架导轨,所述可控制机架导轨上设置可控制机架(103),所述可控制机架(103)上设置有机械臂导轨Ⅱ,所述机械臂导轨Ⅱ上设置机械臂Ⅱ(102),所述机械臂Ⅱ(102)上设置有机械臂导轨Ⅰ,所述机械臂导轨Ⅰ上设置机械臂Ⅰ(101)。
3.根据权利要求2所述的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置,其特征是:所述可控制机架导轨、机械臂导轨Ⅱ和机械臂导轨Ⅰ分别为Z轴方向、X轴方向以及Y轴方向设置。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶棒在料板上的粘结装置,其特征是:所述千分表包括千分表表身(2),所述千分表表身(2)上设置有千分表表针(3);
所述千分表表身(2)与机械臂Ⅰ(101)固定连接。
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