[实用新型]一种单晶炉CCD监控系统

摘要

一种单晶炉CCD监控系统，包括平台垫板（1）、四维平台（2）、固定连接装置、工业智能相机（3）、光热隔离装置，其中，工业智能相机（3）的CCD传感器与固定连接装置连接，固定连接装置置于四维平台（2）上，四维平台（2）置于平台垫板（1）上，光热隔离装置通过连接件与固定连接装置连接；本实用新型特别提供的单晶炉CCD监控系统，在不增加外围制冷设备的前提下，实现了光学过滤和热量的隔离，保护了相机的寿命和长时间连续运行的稳定性，人工通过四维平台（2）调整工业智能相机（3）的位置，与现有的同类技术相比，成本降低30%以上，相机的成像质量提升在27%以上，CCD监控系统时时反馈数据的准确度提高15%以上。

主权项

一种单晶炉CCD监控系统，其特征在于：所述监控系统包括平台垫板（1）、四维平台（2）、固定连接装置、工业智能相机（3）、光热隔离装置，其中，工业智能相机（3）的CCD传感器与固定连接装置连接，固定连接装置置于四维平台（2）上，四维平台（2）置于平台垫板（1）上，光热隔离装置通过连接件与固定连接装置连接；所述光热隔离装置包括隔热上板（5）、隔热下板（6）、隔热玻璃（7）、压垫（8）、连接杆（9），其中，压垫（8）上端与隔热上板（5）连接、下端与隔热下板（6）连接，连接杆（9）下端与隔热上板（5）连接；所述隔热上板（5）的中心设置有观测孔a，所述隔热下板（6）的中心设置有观测孔b，观测孔a与观测孔b的中心一致，观测孔b的直径大于观测孔a的直径；所述隔热玻璃（7）置于隔热上板（5）中心的观测孔a上，位于隔热上板（5）与隔热下板（6）之间。