[实用新型]一种单晶炉CCD监控系统有效
申请号: | 201320137435.1 | 申请日: | 2013-03-25 |
公开(公告)号: | CN203144553U | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
发明(设计)人: | 辛海波 | 申请(专利权)人: | 沈阳尚元科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/26 | 分类号: | C30B15/26;C30B29/06 |
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地址: | 110000 辽宁省沈*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 ccd 监控 系统 | ||
1.一种单晶炉CCD监控系统,其特征在于:
所述监控系统包括平台垫板(1)、四维平台(2)、固定连接装置、工业智能相机(3)、光热隔离装置,其中,工业智能相机(3)的CCD传感器与固定连接装置连接,固定连接装置置于四维平台(2)上,四维平台(2)置于平台垫板(1)上,光热隔离装置通过连接件与固定连接装置连接;
所述光热隔离装置包括隔热上板(5)、隔热下板(6)、隔热玻璃(7)、压垫(8)、连接杆(9),其中,压垫(8)上端与隔热上板(5)连接、下端与隔热下板(6)连接,连接杆(9)下端与隔热上板(5)连接;
所述隔热上板(5)的中心设置有观测孔a,所述隔热下板(6)的中心设置有观测孔b,观测孔a与观测孔b的中心一致,观测孔b的直径大于观测孔a的直径;
所述隔热玻璃(7)置于隔热上板(5)中心的观测孔a上,位于隔热上板(5)与隔热下板(6)之间。
2.按照权利要求1所述单晶炉CCD监控系统,其特征在于:所述工业智能相机(3)的成像镜头与隔热上板(5)的中心间隔5mm设置。
3.按照权利要求1所述单晶炉CCD监控系统,其特征在于:所述隔热上板(5)的观测孔a上设置有调整片(10),所述调整片(10)置于隔热上板(5)与隔热下板(6)之间。
4.按照权利要求1所述单晶炉CCD监控系统,其特征在于:所述固定连接装置包括连接底板(11)、锁线上板(12)、锁线下板(13)、立支板(14),其中,锁线上板(12)置于锁线下板(13)上,锁线下板(13)置于连接底板(11)一端,立支板(14)置于连接底板(11)另一端;所述连接底板(11)置于四维平台(2)上。
5.按照权利要求1所述单晶炉CCD监控系统,其特征在于:所述固定连接装置(3)的锁线上板(12)上设置有用于调整四维平台转动的滚花螺母(17)。
6.按照权利要求1所述单晶炉CCD监控系统,其特征在于:所述连接件主要由安装板(15)组成,安装板(15)置于工业智能相机(3)的CCD传感器上、并与工业智能相机(3)固定连接,安装板(15)一端与固定连接装置连接,另一端的两侧设置U形凸起,安装板(15)通过U性凸起与光热隔离装置连接。
7.按照权利要求1所述单晶炉CCD监控系统,其特征在于:所述连接件主要由横连杆(16)组成,横连杆(16)一端与连接杆(9)上端连接,另一端与固定连接装置的侧面连接。
8.按照权利要求1所述单晶炉CCD监控系统,其特征在于:工业智能相机(3)的成像镜头下方,设置有通过400-700nm波长光的光谱滤镜。
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