[实用新型]光学元件表面及亚表面缺陷检测红外锁相成像装置有效
| 申请号： | 201320109983.3 | 申请日： | 2013-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN203101283U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 吴周令;陈坚;黄明 | 申请（专利权）人： | 合肥知常光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人： | 金凯 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学元件表面及亚表面缺陷检测红外锁相成像装置，其将红外成像技术与锁相放大检测技术结合，通过利用受调制的泵浦激光激发样品产生周期性红外辐射，利用红外探测阵列来探测所产生的红外辐射，并对红外探测阵列的信号进行锁相放大检测，获得有关样品缺陷的高分辨的图像信息，同时利用所激发的红外辐射在选定波段对一些光学材料穿透深度非常有限的物理特性来排除样品体内红外信号对检测结果的影响，从而只对样品表面及亚表面的吸收缺陷分布进行成像检测。本实用新型适用于光学元件表面及亚表面吸收缺陷检测与成像，特别适合特大型高功率激光系统中常用的大口径光学元件表面及亚表面吸收缺陷的检测与成像。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 表面 缺陷 检测 红外 相成 装置 | ||
【主权项】：
光学元件表面及亚表面缺陷检测红外锁相成像装置，其特征在于：包括有相对光学元件前表面设置的泵浦光源，设置于泵浦光源发射端和光学元件前表面之间的泵浦光束调制装置，相对光学元件前表面设置的第一红外成像装置，依次设置于第一红外成像装置后端的第一红外滤波装置和第一红外探测器阵列，相对光学元件后表面设置的第二红外成像装置，依次设置于第二红外成像装置后端的第二红外滤波装置和第二红外探测器阵列，分别与泵浦光束调制装置、第一红外探测器阵列、第二红外探测器阵列连接的锁相放大检测装置。
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