[实用新型]一种多晶硅铸锭设备及其氩气切换装置

摘要

本实用新型公开了一种氩气切换装置，该氩气切换装置包括主管路，该主管路的一端与氩气管路相连通，其另一端与压缩空气管路连通，第一开关安装在主管路靠近氩气管路的管段上，第二开关安装在主管路靠近压缩空气管路的管段上，第三开关位于上述第一开关与第二开关之间，单向阀设置于第一开关与第三开关之间，且自氩气管路向压缩空气管路方向导通；这样，氩气切换过程中，如果不慎发生开关误打开的情况，则通过单向阀的作用能够避免压缩空气进入氩气管路，避免了误操作对氩气纯净度的影响，保证了氩气的纯度，进而避免铸锭损失，提高了铸锭成品率。本实用新型还公开了一种包括上述氩气切换装置的多晶硅铸锭设备。

主权项

一种用于多晶硅铸锭设备的氩气切换装置，包括以其一端与氩气管路连通的主管路（2），所述主管路（2）的另一端与压缩空气管路连通，所述主管路（2）靠近所述氩气管路的管段设有第一开关（21），其靠近所述压缩空气管路的管段设有第二开关（22）；主管路（2）上还设置有连通大气的第三开关（23），所述第三开关（23）设置于所述第一开关（21）与所述第二开关（22）之间；其特征在于，所述主管路（2）上安装有单向阀（24），所述单向阀（24）设置于所述第一开关（21）与所述第三开关（23）之间，且自所述氩气管路向所述压缩空气管路方向导通。