[实用新型]刻蚀烘烤设备升降装置有效
| 申请号： | 201320056496.5 | 申请日： | 2013-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN203080065U | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 丁云鑫;徐小明;周永君;毛棋斌 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/12 | 分类号： | C23F1/12;C23C16/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 茅翊忞 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种刻蚀烘烤设备升降装置。该装置包括升降机构（1）和支承在升降机构（1）上的尾气收集器（2），该尾气收集器（2）随升降机构（1）在上限位置和下限位置之间升降。该装置还包括气缸组件（3），气缸组件（3）在尾气收集器（2）的上限位置处进一步提升尾气收集器（2），以形成尾气收集器（2）与刻蚀烘烤设备的反应炉之间的密封。本实用新型的刻蚀烘烤设备升降装置在将尾气收集器顶靠在反应炉底座上之后，通过挤压反应炉底座上的O圈而将尾气收集器严实地密封在反应炉底座上，从而克服先前所述的反应炉密封性不佳的问题，获得了有益的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 烘烤 设备 升降 装置 | ||
【主权项】：
一种刻蚀烘烤设备升降装置，包括升降机构（1）和支承在所述升降机构（1）上的尾气收集器（2），所述尾气收集器（2）随所述升降机构（1）在上限位置和下限位置之间升降，其特征在于，所述装置还包括气缸组件（3），所述气缸组件（3）在所述尾气收集器（2）的所述上限位置处进一步提升所述尾气收集器（2），以形成所述尾气收集器（2）与刻蚀烘烤设备的反应炉之间的密封。
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