[实用新型]调焦调平测量系统中镜片轴向调整装置有效
| 申请号： | 201320043178.5 | 申请日： | 2013-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN203069860U | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 吴树福;章富平;陈飞彪;王海江;程海林;唐平玉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及调焦调平测量系统，具体涉及调焦调平测量系统中镜片轴向调整装置。所述镜片轴向调整装置包括支撑筒、设置在支撑筒端面的光阑、设置在支撑筒内的至少一个镜筒组、设置在支撑筒侧壁控制和锁定镜筒组轴向运动的调整机构和用于径向固定镜筒组的支撑块，所述支撑块设置在支撑筒内，镜筒组嵌在支撑块内并可在其中进行轴向滑动。本实用新型的技术方案中小镜筒相互独立，可分别进行调整补偿光学系统的装调误差；整个调整装置结构紧凑，可在较小空间内进行调整；调整精度高，重复性好；装置的结构简单、安装方便且成本合理。 | ||
| 搜索关键词： | 调焦 测量 系统 镜片 轴向 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种镜片轴向调整装置，其特征在于，包括支撑筒、设置在支撑筒端面的光阑、设置在支撑筒内的至少一个镜筒组、设置在支撑筒侧壁控制和锁定镜筒组轴向运动的调整机构和用于径向固定镜筒组的支撑块，所述支撑块设置在支撑筒内，镜筒组嵌在支撑块内并可在其中进行轴向滑动。
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