[发明专利]一种ICP-MS装置及方法在审
| 申请号： | 201310756585.5 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103779167A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 梁炎;王强;滕恩江;刘立鹏;郑毅;韩双来;邱明;徐岳;陈飞华;陈文益;李鹰 | 申请（专利权）人： | 聚光科技(杭州)股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;H01J49/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310052 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种ICP-MS装置，包括ICP离子源、真空接口、离子传输模块、质量分析器和检测器，其特点是：所述真空接口包括采样锥和至少一组阵列电极，所述至少一组阵列电极的每一片电极均为中间开孔的电极板，所述至少一组阵列电极相邻两片之间施加同幅同频反向RF电压；所述至少一组阵列电极设置在所述采样锥和离子传输模块之间，所述至少一组阵列电极的至少两片之间通入碰撞/反应气。本发明还提供了一种ICP-MS方法。本发明具有离子收集效率高、灵敏度高、质谱干扰消除效果好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 icp ms 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种ICP‑MS装置，包括ICP离子源、真空接口、离子传输模块、质量分析器和检测器，其特征在于：所述真空接口包括采样锥和至少一组阵列电极，所述至少一组阵列电极的每一片电极均为中间开孔的电极板，所述至少一组阵列电极相邻两片之间施加同频反向RF电压；所述至少一组阵列电极设置在所述采样锥和离子传输模块之间，所述至少一组阵列电极的至少两片电极之间设置气体入口。
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