[发明专利]一种硅块抛光装置和硅块抛光方法有效
| 申请号： | 201310755847.6 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103722480A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 马帅;王鑫波;王康 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅块抛光装置，包括：第一抛光单元，其研磨部件为金刚砂磨石；第二抛光单元，其研磨部件为毛刷；其中，所述毛刷为组合毛刷，包括第一毛刷和第二毛刷；所述第一毛刷位于毛刷的内部；所述第二毛刷位于所述第一毛刷的外侧，其刷毛目数和刷毛长度均大于所述第一毛刷。该装置使用金刚砂磨石和毛刷分前后两道工序对硅块进行抛光，可显著改善硅块抛光效果，从而保证硅片切割质量。本发明还公开了利用上述硅块抛光装置对硅块进行抛光的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种硅块抛光装置，其特征在于，包括：第一抛光单元，其研磨部件为金刚砂磨石；第二抛光单元，其研磨部件为毛刷；其中，所述毛刷为组合毛刷，包括第一毛刷和第二毛刷；所述第一毛刷位于毛刷的内部；所述第二毛刷位于所述第一毛刷的外侧，其刷毛目数和刷毛长度均大于所述第一毛刷。
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