[发明专利]有源消声装置及光刻设备有效
| 申请号： | 201310752318.0 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104749903B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 季采云;钟亮;王璟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种有源消声装置及光刻设备，带有误差传感器的有源消声装置改善了有源消声能力，能够将剩余噪声号反馈至控制单元，从而对次级噪声进行修正，提高了降噪效果，能很好地降低500Hz以下初级噪声的影响。本发明将有源消声信装置运用于所述光刻设备内能够降低光刻设备内的初级噪声对其动态性能的影响，保证了物镜的曝光精确度和测量装置的测量准确性，进而提高了光刻工艺的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 有源 消声 装置 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种有源消声装置，用于消除噪声源产生的初级噪声对待保护部件的影响，所述装置包括：第一扬声器，用于产生与初级噪声发生干涉的次级噪声；误差传感器，用于检测发生干涉后的剩余噪声作为剩余噪声信号；控制单元，用于收集所述剩余噪声信号，并相应地控制所述第一扬声器发出次级噪声；标准传感器，用于检测所述初级噪声；以及第二扬声器，所述第二扬声器发出的第一补偿噪声用于消除所述次级噪声对所述标准传感器的干扰。
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