[发明专利]一种新型硅片研磨液的搅拌装置无效
| 申请号： | 201310752151.8 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103706284A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B01F15/00 | 分类号： | B01F15/00 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新型硅片研磨液的搅拌装置包括搅拌叶、搅拌轴。所述搅拌叶垂直固定在搅拌轴的下端。其中所述搅拌叶包括搅拌叶基座和搅拌叶片，所述搅拌基座为等腰梯形，所述搅拌叶片为半圆形；所述搅拌叶片设有若干个凸起，凸起垂直固定在搅拌叶片上，凸起呈三棱柱，三棱柱底面为等边三角形。从而可以进行横向及纵向搅拌，从而使得搅拌更加均匀，提高了研磨液的质量。所述每个相邻搅拌叶之间的距离为4mm，所述每个搅拌叶之间的夹角为60°。使得颗粒物穿能够过间隙与研磨液混合，进一步促进搅拌，使得搅拌更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 硅片 研磨 搅拌 装置 | ||
【主权项】：
一种新型硅片研磨液的搅拌装置包括搅拌叶、搅拌轴；所述搅拌叶垂直固定在搅拌轴的下端；其中所述搅拌叶包括搅拌叶基座3和搅拌叶片，所述搅拌基座为等腰梯形，所述搅拌叶片为半圆形；所述搅拌叶片设有若干个凸起，凸起垂直固定在搅拌叶片上，凸起呈三棱柱，三棱柱底面为等边三角形。
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