[发明专利]新型硅片清洗液有效

专利信息
申请号: 201310747719.7 申请日: 2013-12-31
公开(公告)号: CN103695190A 公开(公告)日: 2014-04-02
发明(设计)人: 聂金根 申请(专利权)人: 镇江市港南电子有限公司
主分类号: C11D1/66 分类号: C11D1/66;C11D3/60;C11D3/30;C11D3/20;C11D3/04;C11D3/382
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人: 季萍
地址: 212132 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了新型硅片清洗液,由表面活性剂20-50份、三羟乙基胺7-12份、乙醇7-13份、丙二醇3-9份、氟化铵7-10份、柑橘油3-6份、水20-33份组成,以重量份数计。本发明可有效提高对硅片的清洁程度,配方简单易于操作,对环境无不利影响,去污力强,提高了硅片的清洗速度与耐用性能,有利于提高硅片清洗的清洁率,使硅片清洁率率达到99.9%。
搜索关键词: 新型 硅片 清洗
【主权项】:
新型硅片清洗液,其特征在于,由表面活性剂20‑50份、三羟乙基胺7‑12份、乙醇7‑13份、丙二醇3‑9份、氟化铵7‑10份、柑橘油3‑6份、水 20‑33份组成,以重量份数计。
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