[发明专利]托盘组件和刻蚀设备在审
| 申请号： | 201310742963.4 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN104752129A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 张君 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种托盘组件，包括盖板和支撑晶片的托盘，所述盖板设置在所述托盘上方，以将所述晶片固定在所述托盘和所述盖板之间，其中，所述盖板和所述托盘之间设置有绝缘层。本发明还提供一种包括所述托盘组件的刻蚀设备。在本发明中，所述盖板和所述托盘之间设置有绝缘层，因此在刻蚀过程中产生的导电性副产物不会将盖板和托盘导电性连接，从而减少盖板、托盘、卡盘以及接地的基座之间形成导电通路的情况发生的可能性，由此减少加载在晶片上的等离子的能量通过导电通路导走的情况的发生，进而提高了刻蚀速率。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 组件 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
一种托盘组件，包括盖板和支撑晶片的托盘，所述盖板可拆卸地设置在所述托盘上方，以将所述晶片固定在所述托盘和所述盖板之间，其特征在于，所述盖板和所述托盘之间设置有绝缘层。
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