[发明专利]一种离子注入分离蓝宝石的方法有效
| 申请号： | 201310737017.0 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103696022A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 季泳;张龚磊 | 申请（专利权）人： | 贵州蓝科睿思技术研发中心 |
| 主分类号： | C30B33/12 | 分类号： | C30B33/12;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 谷庆红 |
| 地址： | 550004 贵州省贵阳*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 一种以离子注入分离蓝宝石的方法，采用如下步骤：（1）将蓝宝石基片置于真空室内的基座上，并确保基片温度小于220℃；（2）将He离子注入蓝宝石基片；（3）等待冷却后取出基片；（4）清洗蓝宝石基片使之键合；（5）以300～500℃烘烤蓝宝石基片，使蓝宝石基片在加热处理下于键合处基本分离；（6）以1600～2000℃烘烤蓝宝石基片，使蓝宝石基片在高温下退火并加强表面强度，随后自然冷却；（7）对分离断裂处进行化学腐蚀，完全分离两个表面。本发明可以将蓝宝石单晶分离出纳米到微米级别的薄层，形成蓝宝石单晶薄膜，可以粘贴在其他的表面，即可利用蓝宝石的物理性能，达到需要的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 分离 蓝宝石 方法 | ||
【主权项】：
一种离子注入分离蓝宝石的方法，其特征在于：采用如下步骤：（1）将蓝宝石基片置于真空室内的基座上，并确保基片温度在220℃内；（2）将轻气体离子注入蓝宝石基片；（3）等待冷却至室温后取出基片；（4）清洗蓝宝石基片使之键合；（5）以300～500℃烘烤蓝宝石基片，使蓝宝石基片在加热处理下于键合处基本分离；（6）以1600～2000℃烘烤蓝宝石基片，使蓝宝石基片在高温下退火并加强表面强度，随后自然冷却；（7）对分离断裂处进行化学腐蚀，完全分离两个表面。
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