[发明专利]一种多晶硅太阳能电池扩散工艺

摘要

本发明公开了一种多晶硅太阳能电池扩散工艺，属于太阳能电池制备技术领域。本发明将现有的由沉积和推进组成的扩散工艺改为由预沉积、沉积、氧化和推进四步组成。本发明在沉积步骤前增加预沉积步骤，并在步骤时通入携带三氯氧磷，在高温条件下，三氯氧磷经过两次分解生成氯，氯可以和金属离子反应生成金属络合物并随扩散炉管内的气体带出扩散炉，有利于提升硅片表面的扩散吸杂效果，提高了硅片的少子寿命，改善了太阳能电池的扩散质量；同时，氯的存在可以有效的阻碍堆垛层错的产生，减小高温过程带来的晶格损伤，进而提高硅片的光电转换效率。

主权项

一种多晶硅太阳能电池扩散工艺，其特征在于包括如下步骤：一、预沉积：当石英管扩散炉内温度稳定在预定温度时，通入携带三氯氧磷的氮气，持续时间为5‑10min，氮气的流量为500‑2000sccm；二、沉积：继续通入携带三氯氧磷的氮气和氧气，持续时间为10‑20min，氮气的流量为500‑2000sccm，氧气的流量为400‑2000sccm；三、氧化：停止通入三氯氧磷，继续通入氧气和氮气，持续时间为5‑10min，氮气的流量为5‑10slm，氧气的流量为1500‑2000sccm；四、推进：停止通入氧气，仅通入氮气，持续时间为10‑15min，流量为5‑10slm，使沉积的磷向硅片内部进行扩散。