[发明专利]一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机及其使用方法

摘要

本发明涉及薄膜材料技术领域，尤其涉及一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机，包括真空室、双极脉冲磁控溅射靶、矩形的阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源、阴极电弧源、工件架和支座，所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源和阴极电弧源分别通过五组单独的开关控制。本发明通过以上结构，不仅可以制备纯金属、合金、反应膜层，还可以制备多元、多层纳米复合涂层，含氧涂层，以满足形状和大小不一的金属切削刀具，达到高速加工的要求。

主权项

一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机，其特征在于：包括真空室、双极脉冲磁控溅射靶、矩形的阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源、阴极电弧源、工件架和支座；所述真空室为密封结构，其上开设有抽气口，所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、阴极电弧源和工件架固定在所述真空室内，所述支座与所述工件架连接；所述工件架为导电材质，与所述旋转支架连接，位于所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源和阴极电弧源之间；所述工件架与所述真空室绝缘，所述真空室接地，所述偏压电源的阳极连接真空室，阴极连接所述工件架；所述双极脉冲磁控溅射靶、阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源和阴极电弧源分别通过五组单独的开关控制。