[发明专利]一种单向可视低辐射玻璃的制作方法

摘要

本发明公开了一种单向可视低辐射玻璃的制作方法,A、采用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，直流电源溅射Nb平面靶，在玻璃基板上磁控溅射Nb₂O₅层；B、采用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，交流电源溅射铝旋转靶，在Nb₂O₅层上磁控溅射Al₂O₃层；C、采用氩气作为反应气体，直流电源溅射银平面靶，在步骤B中的Al₂O₃层上磁控溅射Ag层；D、采用氩气作为反应气体，直流电源溅射Al平面靶，在步骤C中Ag层上磁控溅射Al层；E、采用氩气作为反应气体，交流电源溅射氧化钛陶瓷旋转靶，在步骤D中的Al层上磁控溅射TiO₂层。本发明的目的提供一种工艺简单，操作方便，生产成本相对较低的单向可视低辐射玻璃的制作方法。

主权项

一种单向可视低辐射玻璃的制作方法,其特征在于包括以下步骤：A、采用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，直流电源溅射Nb平面靶，在玻璃基板上磁控溅射Nb₂O₅层；B、采用氧气作为反应气体，氩气作为保护气体，交流电源溅射铝旋转靶，在步骤A中Nb₂O₅层上磁控溅射Al₂O₃层；C、采用氩气作为反应气体，直流电源溅射银平面靶，在步骤B中的Al₂O₃层上磁控溅射Ag层；D、采用氩气作为反应气体，直流电源溅射Al平面靶，在步骤C中Ag层上磁控溅射Al层；E、采用氩气作为反应气体，交流电源溅射氧化钛陶瓷旋转靶，在步骤D中的Al层上磁控溅射TiO₂层。