[发明专利]压电薄膜谐振器有效
| 申请号： | 201310692927.1 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103873009B | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | 恩田阳介 | 申请（专利权）人： | 太阳诱电株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H01L41/18 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 庞东成,解延雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压电薄膜谐振器，所述压电薄膜谐振器包括基板；压电膜，所述压电膜设置在所述基板上，并且包括第一膜和第二膜，所述第一膜由含有添加元素的氮化铝膜制成，所述第二膜设置在所述第一膜的上表面和下表面上，并由以低于第一膜的浓度含有所述添加元素的氮化铝膜制成；和下电极和上电极，所述上电极和下电极设置成夹持所述压电膜。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 谐振器 | ||
【主权项】：
一种压电薄膜谐振器，所述压电薄膜谐振器包括：基板；压电膜，所述压电膜设置在所述基板上，并且包括第一膜和第二膜，所述第一膜由含有添加元素的氮化铝膜制成，所述第二膜设置在所述第一膜的上表面和下表面上，并由以低于所述第一膜的浓度含有所述添加元素的氮化铝膜制成；和下电极和上电极，所述上电极和下电极设置成夹持所述压电膜，其中，所述第二膜中的一个、即第二膜a设置在所述下电极与所述第一膜之间，所述第二膜中的另一个、即第二膜b设置在所述上电极与所述第二膜之间，所述下电极与所述第二膜a接触，且所述上电极与所述第二膜b接触，并且所述第一膜的厚度大于所述第二膜a和所述第二膜b的厚度。
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