[发明专利]一种柔性精密电阻器及其制备方法有效
| 申请号： | 201310681881.3 | 申请日： | 2013-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN103680787A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 彭坤;刘开锋;刘红元 | 申请（专利权）人： | 苏州智权电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01C17/00 | 分类号： | H01C17/00;H01C7/00;H01C1/02 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 连平 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性精密电阻器及其制备方法，其从下至上由第一陶瓷纤维层、电阻薄膜层、第二陶瓷纤维层以及保护层构成，电阻体外部包覆有钝化保护层；电极的电极连接部穿过钝化保护层、保护层以及第二陶瓷纤维层与电阻薄膜层相连。第一陶瓷纤维层和第二陶瓷纤维层为柔韧性良好的陶瓷纤维层；电阻薄膜层为可提供高精度、低温漂系数的金属、合金材料层；保护层以及钝化保护层为可以提供钝化保护的无机、有机化合物薄膜层。本发明在金属电阻薄膜层上下包覆陶瓷纤维层，而陶瓷纤维热稳定性能良好，同时具有均匀、连续、致密，柔韧性良好等力学性能，制成的电阻器也具有柔韧性良好、高精度以及低温漂系数的优点，可适用于打线连接的集成电路产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 精密 电阻器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性精密电阻器的制备方法，其特征在于包括有如下步骤：（1）、首先在衬底表面沉积一层牺牲层；（2）、将可形成陶瓷纤维膜的凝胶可织性溶胶旋涂至牺牲层表面；（3）、高温煅烧凝胶可织性溶胶，形成第一陶瓷纤维层；（4）、在陶瓷纤维层表面沉积金属或合金成分的电阻薄膜层；（5）、再次将可形成陶瓷纤维膜的凝胶可织性溶胶旋涂至电阻薄膜层表面；（6）、高温煅烧凝胶可织性溶胶，形成第二陶瓷纤维层；（7）、在第二陶瓷纤维层表面沉积保护层；（8）、旋涂光刻胶并且光刻、干法刻蚀将电阻图形化，之后去除残留光刻胶；（9）、沉积钝化保护层；（10）、旋涂光刻胶并且光刻、干法刻蚀形成电极与电阻薄膜层的连接孔，之后去除残留光刻胶；（11）、在钝化保护层表面以及连接孔内部通过沉积导电材料于连接孔至电阻薄膜层，形成电极及电极连接部；（12）、去除衬底牺牲层。
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