[发明专利]一种超精密凸锥镜测量-抛光修正系统中的优化处理方法有效
| 申请号： | 201310681786.3 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103692295A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张俊;顾亚平;乔维明;查雨 | 申请（专利权）人： | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B49/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种超精密凸锥镜测量-抛光修正系统的优化处理方法，该方法包括下列步骤：①测量：将经过超精密金刚钻切削车床加工后的凸锥镜送到Taylor Hobson轮廓仪进行检测,给出4组或8组的测量数据的检测数据文件；②数据处理：通过算法选择每组数据中的特征值，然后以这些特征值为基础，通过构建一个网状的三维地貌修正图数据文件；③将所述的三维地貌修正图数据文件输入Zeeko七轴数控修正抛光中心的计算机，计算机根据所述的三维地貌修正图数据文件引导抛光工具对凸锥镜进行抛光达到镜面光洁度。本发明只需要较少的几组测量数据,就可以使凸锥镜的抛光达到镜面光洁度的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 凸锥镜 测量 抛光 修正 系统 中的 优化 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种超精密凸锥镜测量‑抛光修正系统的优化处理方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①测量：将经过超精密金刚钻切削车床加工后的凸锥镜送到Taylor Hobson轮廓仪进行检测,Taylor Hobson轮廓仪给出4组或8组的测量数据的检测数据文件包括：第一列为x轴坐标点，第二列为y轴坐标点，第三列称之为处理余量，即理论上需要被抛光处理掉的厚度；②数据处理：通过算法选择每组数据中的特征值，然后以这些特征值为基础，通过构建一个网状的三维地貌修正图数据文件；③将所述的三维地貌修正图数据文件输入Zeeko七轴数控修正抛光中心的计算机，计算机根据所述的三维地貌修正图数据文件引导抛光工具对凸锥镜进行抛光,使凸锥镜在不改变面形精度的条件下达到镜面光洁度。
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