[发明专利]一种多孔二氧化钛薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201310677816.3 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103628034A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 冷金凤;周庆波;初梅军;滕新营;耿浩然 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/02;C23F4/00 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 李桂存 |
| 地址： | 250002 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 发明涉及一种多孔二氧化钛薄膜的制备方法，包括如下步骤：以空心玻璃微珠作为基体，以Cu-Zn或Cu-Mn合金作为靶材，磁控溅射设备沉积Cu-Zn或Cu-Mn合金薄膜；采用酸性或碱性溶液进行脱合金化处理，后进行去离子水清洗至中性，再真空干燥；干燥后包裹多孔铜的玻璃微珠，磁控溅射设备表面沉积二氧化钛，制备出多孔二氧化钛。本发明制备的多孔二氧化钛薄膜增大二氧化钛的表面积，在紫外光照射下有更好的催化性能，可以在废水处理、空气净化及光催化领域有更好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多孔 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多孔二氧化钛膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）以空心玻璃微珠作为基体，以Cu‑Zn或Cu‑Mn合金作为靶材，磁控溅射设备沉积Cu‑Zn或Cu‑Mn合金薄膜；（2）采用酸性或碱性溶液进行脱合金化处理，后进行去离子水清洗至中性，再真空干燥；（3）干燥后包裹多孔铜的玻璃微珠，磁控溅射设备表面沉积二氧化钛，制备出多孔二氧化钛。
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