[发明专利]沉积掩模在审
| 申请号： | 201310674417.1 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103966545A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 韩政洹 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 郭艳芳;康泉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种沉积掩模。该沉积掩模包括：本体部分，该本体部分包括第一表面、第二表面和多个开口部分，第一表面与沉积基板相接触，第二表面面对第一表面，多个开口部分穿透第一表面和第二表面形成；以及碳层，至少设置在第一表面上，并且碳层包括碳纳米管和石墨烯中的至少一种。该沉积掩模的强度可得到提高，并且可减少了起弧现象。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 | ||
【主权项】：
一种沉积掩模，包括：本体部分，所述本体部分包括第一表面、第二表面和多个开口部分，所述第一表面与沉积基板相接触，所述第二表面面对所述第一表面，所述多个开口部分穿透所述第一表面和所述第二表面形成；以及碳层，至少设置在所述第一表面上，并且所述碳层包括碳纳米管和石墨烯中的至少一种。
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