[发明专利]一种单弹性梁叉指电容角速度计及制备方法无效
| 申请号： | 201310673998.7 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103616528A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 田龙坤;薛惠琼;王玮冰 | 申请（专利权）人： | 江苏物联网研究发展中心 |
| 主分类号： | G01P3/44 | 分类号： | G01P3/44 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单弹性梁叉指电容角速度计及制备方法，为解决现有电容角速度计制造工艺复杂、灵敏度低等问题而设计。该单弹性梁叉指电容角速度计包括基底以及设置于基底上的结构层，所述结构层包括中部的中心锚点以及与中心锚点连接的多个功能部，功能部包括弹性梁、质量块、梳齿动轭、多个极板组和外锚点，所述结构层包括垂直沉积交替叠加的多层介质层和多层金属层，相邻金属层之间通过钨塞连接，所述结构层的最外层设置有钝化层。同时提出一种单弹性梁叉指电容角速度计的制备方法。该单弹性梁叉指电容角速度计加工工艺简单、生产成本低、灵敏度高、寄生电容小、可实现复杂灵活布线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弹性 梁叉指 电容 角速度 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种单弹性梁叉指电容角速度计，包括基底（7）以及设置于基底（7）上的结构层，所述结构层包括中部的中心锚点（6）以及与中心锚点（6）连接的多个功能部，每个功能部包括弹性梁（3）、质量块（4）、梳齿动轭（5）、多个极板组（2）和外锚点（1），其特征在于：所述中心锚点（6）和所述每个功能部均包括垂直沉积交替叠加的多层介质层和多层金属层，相邻金属层之间通过钨塞连接，所述结构层的最外层设置有钝化层（15）。
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