[发明专利]圆光栅安装时产生二维微小角度的测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种圆光栅安装时产生二维微小角度的测量装置及方法，包括有相互配合的夹持定位调整装置和激光发生装置，测量时，先将待测轴安装在活动块的V型槽上，移动滑块在直线导轨上移动，使电感测头的测量点位于待测端面近端，瞄准完成后控制电感测头在当前位置测量，得到初始位移；然后移动滑块令电感测头测量点位于待测轴端面远端，再次测量获得位移量；根据两个维度上两次测量得到的位移差值结合两次测量轴侧面的位移量可算出待测轴轴径方向相对于圆光栅安装端面的二维角度，此角度也就是圆光栅安装端面相对于轴径方向的二维角度。本发明结构简单，实现了圆光栅安装二维微小角度的测量，同时可机械加工过程的在线测量，测量精度较高。

主权项

一种圆光栅安装时产生二维微小角度的测量装置，其特征在于：包括有相互  配合的夹持定位调整装置和激光发生装置，所述夹持定位调整装置包括有固定安装在工作台上的拱形门，所述拱形门的侧柱及横梁确定的两维正交方向上分别安装有电感测头，所述拱形门的正下方设有横穿的底座，所述底座上铺设有两平行的直线导轨，所述导轨上配合安装有滑块，所述滑块的上端面设有V型槽，所述V型槽的底端面通过球面支撑安装有活动块，所述活动块的与V型槽的低端面和一侧的内侧壁之间分别放置有压电陶瓷片，活动块与V型槽与另一侧的内侧壁之间的对应位置放置有弹簧；所述激光发生装置包括有安装在工作台上且位于导轨延长线方向上的激光发射器，所述激光发射器所产生的激光束平行于直线导轨，垂直于激光束和导轨与拱形门所在平面，且激光束经过安装在激光发生装置上的光屏中心的通光孔，在光屏的背光面是感光面，所述感光面覆盖除通光孔外光屏上的全部面积。