[发明专利]高均匀性多组工件共晶炉加热平台

摘要

本发明公开了一种高均匀性多组工件共晶炉加热平台，解决了现有装置存在的加热平台散热严重和石墨平台的温度均匀性差的问题。包括在平台包覆底壳（1）上设置有真空陶瓷绝热板（2），在真空陶瓷绝热板（2）上设置有碳毡（3）和矩形反射板（4），在矩形反射板（4）上设置有两个前灯架支柱和两个后灯架支柱，在石英灯前支架（9）与石英灯后支架（11）之间间隔地设置有16支600瓦的石英灯（10），在石英灯前支架（9）与石英灯后支架（11）之间间隔地设置的600瓦的石英灯（10）是以石墨平台（12）的中轴线为对称轴左右对称设置的。本发明的石墨平台的温度均匀性好，使被加热的一组工件的温度均匀，能达到后续工艺的要求。

主权项

一种高均匀性多组工件共晶炉加热平台，包括平台包覆底壳（1），在平台包覆底壳（1）上设置有真空陶瓷绝热板（2），在真空陶瓷绝热板（2）上设置有碳毡（3），在碳毡（3）上设置有矩形反射板（4），在矩形反射板（4）上设置有四个灯架支柱（5），两个前灯架支柱和两个后灯架支柱，在每个灯架支柱（5）上均设置有L形支撑支架（8），石英灯前支架（9）设置在两个前灯架支柱上设置的L形支撑支架上，石英灯后支架（11）设置在两个后灯架支柱上设置的L形支撑支架上，在石英灯前支架（9）与石英灯后支架（11）之间间隔地设置有16支600瓦的石英灯（10），在石英灯前支架（9）和石英灯后支架（11）上设置有石墨平台（12），石墨平台（12）的长（m）为310毫米，石墨平台（12）的宽（n）为240毫米，其特征在于，在石英灯前支架（9）与石英灯后支架（11）之间间隔地设置的600瓦的石英灯（10）是以石墨平台（12）的中轴线为对称轴左右对称设置的，中轴线两边的石英灯的间距（a）为32毫米，右侧第一石英灯与右侧第二石英灯的间距（b）为26毫米，右侧第二石英灯与右侧第三石英灯的间距（c）为24毫米，右侧第三石英灯与右侧第四石英灯的间距（d）为21毫米，右侧第四石英灯与右侧第五石英灯的间距（e）为19毫米，右侧第五石英灯与右侧第六石英灯的间距（f）为17毫米，右侧第六石英灯与右侧第七石英灯的间距（g）为15毫米，右侧第七石英灯与右侧第八石英灯的间距（h）为14毫米。