[发明专利]一种在线实时检测外延片温度的方法

摘要

本发明公开了一种在线实时检测外延片温度的方法，属于半导体检测技术领域。该方法通过引入镀膜窗口的反射率衰减因子和热辐射衰减因子，可以准确测量得到外延片的温度T。该方法能够消除反应腔窗口镀膜对在线实时温度检测值造成的影响、提高在线实时温度检测值准确度。

主权项

1.一种在线实时检测外延片温度的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：根据外延片的热辐射强度L(λ，T)，外延片的反射率R，反应腔窗口镀膜引起的热辐射衰减因子ΔTT和所述反应腔窗口镀膜引起的反射率衰减因子ΔTR，计算黑体辐射值Pb(λ，T)，其中，Pb(λ，T)，黑体辐射值，L(λ，T)，外延片的热辐射强度，ΔTT，反应腔窗口镀膜引起的热辐射衰减因子，ε(R/ΔTR)，外延片的热发射率，R，外延片的反射率，ΔTR，反应腔窗口镀膜引起的反射率衰减因子；步骤2：根据所述黑体辐射值Pb(λ，T)与所述外延片温度T的对应关系，得到所述外延片的温度T，其中，Pb(λ，T)，黑体辐射值，h，普朗克常数，k，玻尔兹曼常数，c，光速，λ，波长，T，温度；其中，当所述反应腔窗口镀膜为理想不透明、光滑、平整的表面时，所述ε(R/ΔTR)＝1‑R/ΔTR其中，R，外延片的反射率，ΔTR，反应腔窗口镀膜引起的反射率衰减因子，ε(R/ΔTR)，外延片的热发射率；当所述反应腔窗口镀膜为透明、单面衬底抛光，所述ε(R/ΔTR)＝εcarr(1‑R/ΔTR)(1‑Rdiff){1+R/ΔTR×Rdiff+(1‑εcarr)[(Rdiff+R/ΔTR(1‑Rdiff)2)]}其中，ε(R/ΔTR)，外延片的热发射率，R，外延片的反射率，Rdiff，不平滑衬底的散射率，εcarr，石墨基座的热发射率，ΔTR，反应腔窗口镀膜引起的反射率衰减因子。