[发明专利]用于将四氯化硅转化为三氯硅烷的方法有效
| 申请号： | 201310651564.7 | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN103880011A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 延斯·费利克斯·克诺特;汉斯-于尔根·埃伯利;克里斯托弗·吕丁格尔 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;张英 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于将STC转化为TCS的方法，该方法通过将包含STC和氢气的反应物气体引入到温度为1000℃-1600℃的反应器的反应区内实现，其中，反应区通过位于反应区外部的加热器加热，然后将形成的包含TCS的产物气体冷却，条件为在0.1ms-35ms内将其冷却至700℃-900℃的温度，其中反应物气体由产物气体通过以逆流工作的热交换器加热，其中反应器和热交换器形成单一气密的组件，其中该组件由选自由以下组成的组中的一种或多种陶瓷材料构成：碳化硅、氮化硅、石墨、SiC涂覆的石墨以及石英玻璃。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氯化 转化 硅烷 方法 | ||
【主权项】：
一种用于将STC转化为TCS的方法，所述方法通过将包含STC和氢气的反应物气体引入到温度为1000℃‑1600℃的反应器的反应区内实现，其中，所述反应区通过位于反应区外部的加热器加热，然后将形成的包含TCS的产物气体冷却，条件为在0.1ms‑35ms内将其冷却至700℃‑900℃的温度，其中，所述反应物气体是由所述产物气体通过以逆流工作的热交换器加热的，其中，所述反应器和热交换器形成单一气密的组件，其中所述组件由选自由以下组成的组中的一种或多种陶瓷材料构成：碳化硅、氮化硅、石墨、SiC涂覆的石墨以及石英玻璃。
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