[发明专利]无序合金微弹簧及其制备方法与曝光台无效
| 申请号： | 201310644730.0 | 申请日： | 2013-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN103663363A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 张冬仙;史斌;胡晓琳;伊福廷;王波;蒋建中;章海军 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种无序合金微弹簧及其制备方法与曝光台。弹簧结构为螺旋型，整体尺寸在百微米量级到毫米级别；材料为Ni-Nb基无序合金材料，杨氏模量大于180GPa，弹性极限大于2%。制备方法，1）制备一个PMMA光刻胶圆柱；2）将光刻胶圆柱夹持到曝光台上进行X-ray曝光；3）进行显影，得到显影后的制备弹簧的PMMA模具；4）用镍和铌金属在真空下氩气保护熔炼而成的靶材；5）通过磁控溅射制备无序合金薄膜层；6）释放得到无序合金微弹簧。本发明将X-ray光刻工艺与磁控溅射技术结合，突破了传统机械工艺制备亚毫米螺旋微型弹簧的尺寸瓶颈，填补了MEMS器件中无序合金螺旋微弹簧的空缺，拓展了3D金属微器件的加工思路，微弹簧表面平整光滑，形状理想。 | ||
| 搜索关键词： | 无序 合金 弹簧 及其 制备 方法 曝光 | ||
【主权项】：
一种具有高倔强系数和弹性极限的无序合金微弹簧，其特征在于，结构为螺旋型，整体尺寸在百微米量级到毫米级别，弹簧丝直径大于等于10 um；材料为Ni‑Nb基无序合金材料，杨氏模量大于180GPa，弹性极限大于2%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310644730.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
