[发明专利]多量程叉指电容式湿度传感器在审
| 申请号： | 201310633521.6 | 申请日： | 2013-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103675041A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 薛惠琼;王玮冰;田龙坤 | 申请（专利权）人： | 江苏物联网研究发展中心 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 曹祖良;刘海 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多量程叉指电容式湿度传感器，其特征是：包括多个连接在一起的传感器单元，所述传感器单元包括一对叉指状的上电极和下电极，下电极和上电极穿过SiO2氧化层设置在硅基底的同一表面上，上电极的叉指和下电极的叉指呈叉指状交错排列，在上电极和下电极的叉指之间填充湿度敏感介质；在所述上电极和下电极的上方设置铝条，铝条位于上电极和下电极的叉指之间，在铝条和上电极之间填充湿度敏感介质；在所述上电极和下电极正下方的硅基底上形成空腔，使下电极、上电极以及下电极和上电极叉指间的湿度敏感介质直接与空气接触；所述传感器单元由铝条串联在一起。本发明提高了电容式压力传感器的灵敏度和测量范围。 | ||
| 搜索关键词： | 多量 程叉指 电容 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
一种多量程叉指电容式湿度传感器，其特征是：包括多个连接在一起的传感器单元（12），所述传感器单元（12）包括一对叉指状的上电极（2）和下电极（1），下电极（1）和上电极（2）穿过SiO2氧化层（10）设置在硅基底（8）的同一表面上，上电极（2）的叉指和下电极（1）的叉指呈叉指状交错排列，在上电极（2）和下电极（1）的叉指之间填充湿度敏感介质（7）；在所述上电极（2）和下电极（1）的上方设置铝条（3），铝条（3）位于上电极（2）和下电极（1）的叉指之间，在铝条（3）和上电极（2）之间填充湿度敏感介质（7）；在所述上电极（2）和下电极（1）正下方的硅基底（8）上形成空腔（9），使下电极（1）、上电极（2）以及下电极（1）和上电极（2）叉指间的湿度敏感介质（7）直接与空气接触；所述传感器单元（12）由铝条（3）串联在一起。
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