[发明专利]中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片

摘要

本发明所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片，包括以蓝宝石为原材料的基板，以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，该中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片，其中心波长4580±40nm，其在航空尾气气体检测过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度。该滤光片的峰值透过率Tp≥80％、带宽=140±20nm，400～12000nm（除通带外），Tavg<0.5%。

主权项

一种中心波长4580nm的一氧化氮气体检测滤光片，包括以蓝宝石为原材料的基板，以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是：所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有：65nm厚度的Ge层、216nm厚度的SiO层、139nm厚度的Ge层、292nm厚度的SiO层、81nm厚度的Ge层、300nm厚度的SiO层、145nm厚度的Ge层、114nm厚度的SiO层、134nm厚度的Ge层、454nm厚度的SiO层、113nm厚度的Ge层、220nm厚度的SiO层、208nm厚度的Ge层、198nm厚度的SiO层、113nm厚度的Ge层、567nm厚度的SiO层、206nm厚度的Ge层、248nm厚度的SiO层、222nm厚度的Ge层、452nm厚度的SiO层、256nm厚度的Ge层、282nm厚度的SiO层、119nm厚度的Ge层、635nm厚度的SiO层、293nm厚度的Ge层、1264nm厚度的SiO层、273nm厚度的Ge层、1109nm厚度的SiO层、414nm厚度的Ge层和526nm厚度的SiO层；所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有：279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、1292nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、646nm厚度的SiO层、279nm厚度的Ge层、2583nm厚度的SiO层、409nm厚度的Ge层、400nm厚度的SiO层、155nm厚度的Ge层和1096nm厚度的SiO层。