[发明专利]清洗装置有效
| 申请号： | 201310627856.7 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103846243B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 前岛信 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;蔡丽娜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种清洗装置。利用简易的结构将清洗时产生的喷雾排出到外部而无需对喷雾进行强制排气。清洗装置（1）具备：保持工作台（4），其用于保持板状工件（W）；清洗喷嘴（5），其朝向板状工件（W）喷出清洗液；以及工作台罩（3），其覆盖保持工作台（4）的周围，在工作台罩（3）上，形成有多个孔（33）的底板（31）被配置在保持工作台（4）的周围，在底板（31）上铺设有片状的网（35）。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 清洗装置 底板 板状工件 喷雾 强制排气 清洗喷嘴 清洗液 排出 喷出 上铺 清洗 简易 外部 覆盖 配置 | ||
【主权项】：
1.一种清洗装置，其至少具备：保持工作台，其用于保持板状工件；马达，其使该保持工作台以该保持工作台的中心为轴旋转；清洗喷嘴，其喷出对该保持工作台所保持的板状工件进行清洗的流体；以及工作台罩，其包围该保持工作台的下表面，其中，该工作台罩形成为由底板和侧板构成的箱形状，所述底板包围该保持工作台的下部周围并具备多个孔，所述侧板与该底板连结并从该底板的外周沿垂直方向立起，在该底板上铺设有带网眼的片状的网，在清洗中产生的喷雾被该网的网眼捕获，在该底板与该网之间形成液体膜，由该液体膜吸收在清洗时产生的喷雾，在该底板上以所述液体膜在超过预定量的时刻会流掉的程度开设多个孔。
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