[发明专利]一种基于布拉格光栅的硅片对准补偿装置及方法在审
| 申请号： | 201310621202.3 | 申请日： | 2013-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN104677270A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 梁任成;曹昌智 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/14 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于布拉格光栅的硅片对准补偿装置，其特征在于，包括：宽带光源，用于提供宽光谱探测光束；硅片对准系统，用于根据该对准光束，建立该硅片与掩模之间的坐标系对应关系；光纤，该光纤上包括布拉格光栅，该光纤的入射端用于接收该宽光谱探测光束；光谱仪，位于该光纤的另一端，用于探测经该布拉格光栅滤波后的宽光谱探测光束；该硅片对准补偿装置根据该光谱仪的探测数据，补偿该硅片对准系统的测量位置误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 布拉格 光栅 硅片 对准 补偿 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于布拉格光栅的硅片对准补偿装置，其特征在于，包括： 宽带光源，用于提供宽光谱探测光束；硅片对准系统，用于根据所述对准光束，建立所述硅片与掩模之间的坐标系对应关系； 光纤，所述光纤上包括布拉格光栅，所述光纤的入射端用于接收所述宽光谱探测光束； 光谱仪，位于所述光纤的另一端，用于探测经所述布拉格光栅滤波后的宽光谱探测光束；所述硅片对准补偿装置根据所述光谱仪的探测数据，补偿所述硅片对准系统的测量位置误差。
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