[发明专利]一种基于中点追踪的图像定位控制双探针自动测试装置

摘要

一种基于中点追踪的图像定位控制双探针自动测试装置，包括承载台、两个探针支架、主控计算机、驱动装载有探针支架的测试头组件在水平面内旋转的细分驱动器、驱动测试头组件在三轴方向移动的三轴步进电机、设置于承载台上方且拍摄方向朝下的摄像头，测试头组件具有使第一、第二探针支架水平镜像移动的第三驱动机构。本发明双探针自动测试仪利用图像定位控制技术进行测试点中点追踪实现双探针的自动定位，从而实现样品两个测试点的自动化定位测试，大大降低了测试人员的劳动强度，提高了测试准确性；本发明定位方式新颖，巧妙地运用转动式测试头组件、移动可张开式双探针，能够准确的将探针定位至待测样品的任意两个测试点，使本发明双探针自动测试装置能够满足测试需要。

主权项

 一种基于中点追踪的图像定位控制双探针自动测试装置，包括承载台、第一探针支架、第二探针支架、主控计算机，其特征在于：还包括驱动所述装载有第一探针支架和第二探针支架的测试头组件在水平面内旋转的第一驱动机构、驱动所述测试头组件在三轴方向移动的第二驱动机构、设置于承载台上方且拍摄方向朝下的摄像头，所述第一驱动机构安装于第二驱动机构的下方，所述测试头组件具有使第一、第二探针支架水平镜像移动的第三驱动机构，所述第一至第三驱动机构的控制信号输入端与主控计算机的控制信号输出端连接，驱动所述测试头组件在水平面内旋转的第一驱动机构为细分驱动器，驱动所述测试头在三轴方向移动的第二驱动机构为三轴步进电机，所述第三驱动机构包括设置有两段对称螺纹的丝杆、驱动丝杆转动的电机、对称地螺接在丝杆上的第一移动块、第二移动块，所述第一探针支架、第二探针支架分别安装在第一移动块、第二移动块下方。