[发明专利]一种基于中点追踪的图像定位控制双探针自动测试装置

权利要求书

1. 一种基于中点追踪的图像定位控制双探针自动测试装置，包括承载台、第一探针支架、第二探针支架、主控计算机，其特征在于：还包括驱动所述装载有第一探针支架和第二探针支架的测试头组件在水平面内旋转的第一驱动机构、驱动所述测试头组件在三轴方向移动的第二驱动机构、设置于承载台上方且拍摄方向朝下的摄像头，所述第一驱动机构安装于第二驱动机构的下方，所述测试头组件具有使第一、第二探针支架水平镜像移动的第三驱动机构，所述第一至第三驱动机构的控制信号输入端与主控计算机的控制信号输出端连接，驱动所述测试头组件在水平面内旋转的第一驱动机构为细分驱动器，驱动所述测试头在三轴方向移动的第二驱动机构为三轴步进电机，所述第三驱动机构包括设置有两段对称螺纹的丝杆、驱动丝杆转动的电机、对称地螺接在丝杆上的第一移动块、第二移动块，所述第一探针支架、第二探针支架分别安装在第一移动块、第二移动块下方。

2. 根据权利要求1所述的基于中点追踪的图像定位控制双探针自动测试装置，其特征在于：所述第一探针支架、第二探针支架上分别安装有第一探针、第二探针，所述第一、第二探针的信号输出端连接测试仪。

3. 根据权利要求1所述的基于中点追踪的图像定位控制双探针自动测试装置，其特征在于：所述承载台为具有真空抽气口的金属承载台，该金属承载台接地，真空抽气口经管路连接抽真空设备。

4. 根据权利要求1所述的基于中点追踪的图像定位控制双探针自动测试装置，其特征在于：还具有壳体，所述承载台、第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、第一探针支架、第二探针支架、及摄像头均设置于壳体内。

5. 基于中点追踪的图像定位控制双探针自动测试装置的样品测试方法，具体包括如下步骤：

第一步、将样品放置于承载台；

第二步、样品在真空设备抽气后形成的负压环境下被吸附固定在承载台上；

第三步、摄像头采集样品图像，传送至主控计算机予以显示，并将计算机显示区域的像素点坐标与承载台坐标建立对应关系；

第四步、测试人员利用鼠标在图像上点选待测样品上任意两测试点；

第五步、获取两测试点连线的中点坐标位置，通过三轴步进电机驱动测试头组件移动至两测试点连线的中点的上方，使两探针支架的对称中心与两测试点连线中点位于同一垂线上，

第六步、计算两测试点之间连线与承载台坐标系X轴的夹角，通过细分驱动器旋转测试头组件相应的角度，使与两探针的连线与两测试点连线共面；

第七步、计算两测试点之间相隔像素数量，并将其转化为承载台坐标系下的距离值，通过电机转动丝杆张开第一、第二探针支架，使探针支架上安装的探针之间的张开距离与两测试点距离相等，从而确保两探针分别位于两测试点正上方；

第八步、通过三轴步进电机驱动测试头组件下压，使探针到达测试点位置，完成自动定位测试。

6. 根据权利要求5所述基于中点追踪的图像定位控制双探针自动测试装置的样品测试方法，其特征在于：所述第五步、第六步、第七步同时进行。