[发明专利]一种制备孔间距一致的碳纳米管刷的方法有效
| 申请号： | 201310601612.1 | 申请日： | 2013-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN103613088A | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 杨志;朱兴忠;程应武;苏言杰;张亚非 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;B82Y40/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制备孔间距一致的碳纳米管刷的方法。将孔间距一致的孔道模板放入管式炉中，利用化学气相沉积法生长碳纳米管阵列，每个孔道中生长一根碳纳米管；将生长了碳纳米管阵列的模板用砂纸打磨后粘附于硅片、玻璃或柔性聚酰亚胺基底上，置于室温下固化；最后除去孔道模板的骨架成分，用去离子水进行清洗并烘干，露出刷毛，形成碳纳米管刷。本发明工艺简单，实用性强，制成碳纳米管刷的刷毛疏密可控，长度一致，便于大规模工业生产，在微电子领域清洁方面有很大的应用潜力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 间距 一致 纳米 方法 | ||
【主权项】：
一种制备孔间距一致的碳纳米管刷的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，在带孔道且孔间距一致的模板上生长碳纳米管，每个所述孔道中生长一根所述碳纳米管，形成碳纳米管阵列；步骤2，将所述模板打磨后粘附于基底上固化，碳纳米管和基底固定在一起；步骤3，除去所述模板，将留下的碳纳米管和基底进行清洗，形成碳纳米管刷。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310601612.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
