[发明专利]一种锌锰碲氧溶胶、中间带薄膜的制备方法及其应用

摘要

本发明涉及一种锌锰碲氧溶胶、中间带薄膜的制备方法及其应用，具体为：采用低温处理方法，以Mn(CH3COO)2·4H2O和Zn(CH3COO)2·2H2O为原料，添加稳定剂、分散剂、螯合剂、交联剂和去离子水，磁力搅拌充分溶解，与碲化三辛基膦溶液混合，滴加氨水调节pH值后，滴入Zn(NO3)2溶液混合，在240℃下反应，冷却得到溶胶；再将所得溶胶滴加在预先清洗好的单晶硅片上，均匀涂覆、红外加热，再经过300℃的热处理，重复滴加、涂覆、加热多次形成薄膜，最后，将将该薄膜在400℃下退火处理以改善表面性能。本发明采用的溶胶凝胶结合旋转涂敷技术，工艺简单、温度更低(约250℃)、适合于大面积生产。

主权项

一种锌锰碲氧溶胶的制备方法，所述锌锰碲氧溶胶为Zn1‑yMnyTe1‑xOx溶胶，其中，0＜x＜1，0＜y＜1，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：(1)在惰性气体下，向碲粉中加入三辛基膦溶液，密封超声处理45分钟～60分钟，得到碲化三辛基膦溶液，记为溶液I；其中，所述碲粉与三辛基膦溶液的摩尔比为1：45～1：90，三辛基膦溶液的摩尔浓度为25mmol/L～50mmol/L；(2)将质量比为6：520～30：540的Mn(CH3COO)2·4H2O粉末和Zn(CH3COO)2·2H2O粉末混合，添加体积比为1：3：1：1：5的稳定剂、分散剂、螯合剂、交联剂和去离子水，磁力搅拌、溶解，然后滴加氨水调节pH值至7.3～7.7，得到混合均匀的溶液，记为溶液II；(3)向体积比为1：1的溶液I和II的混合液中加入与所述混合液体积比为1～3：22～24的摩尔浓度为0.025mol/L的Zn(NO3)2，在230～250℃下反应1～1.5小时，即得所述锌锰碲氧溶胶。