[发明专利]振子以及电子设备在审
| 申请号： | 201310566481.8 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN103856184A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 木原龙儿;矢岛有继 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供振子以及电子设备。作为课题，提供了如下这样的振子：其能够进一步小型化，并且振动泄漏少，能够在制造工序中不导致可动电极产生粘连的情况下，稳定地进行制造。MEMS振子（100）具有：基板（1）；固定部（23），其设置在基板（1）的主面上；从固定部（23）延伸出的支撑部（22）；以及上部电极（21）（振动体），其以与基板（1）相离的方式被支撑部（22）支撑，上部电极（21）在由于从上部电极（21）的周缘部朝向上部电极（21）的中央部形成的缺口部（30）而露出的上部电极（21）的侧面部中的、从所述中央部面向所述周缘部的方向的侧面（31）上具有被连接部，被连接部与支撑部（22）相连。 | ||
| 搜索关键词： | 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
一种振子，其特征在于，具有：基板；固定部，其设置在所述基板的主面上；从所述固定部延伸出的支撑部；以及振动体，其以与所述基板相离的方式被所述支撑部支撑，所述振动体具有：从所述振动体的周缘部朝向所述振动体的中央部设置的缺口部；以及被连接部，其设置于与所述缺口部对应的位置处，所述被连接部与所述支撑部相连。
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