[发明专利]太阳能电池的制造方法及太阳能电池

摘要

本发明提供一种能够抑制发电效率下降的太阳能电池及其制造方法。本发明的太阳能电池中与第2区域（20B）对应的部分通过注入氧离子而成为过氧化状态，从而成为不具有导电性的绝缘部（12B）。a-Si层（5、6）成为透明导电膜（12）中不发挥导电部（12A）的作用的部分也由绝缘部（12B）覆盖的状态。这样，不使用激光蚀刻和蚀刻药液等而进行透明导电膜（12）的图案形成，从而能够通过由透明导电膜（12）的导电部（12A）及绝缘部（12B）覆盖来抑制a-Si层（5、6）的劣化。综上，能够抑制发电效率下降。

主权项

一种太阳能电池的制造方法，所述太阳能电池具备包括a‑Si层的基板及在所述基板的所述a‑Si层上形成的透明导电膜，所述方法具备：准备将所述透明导电膜形成于所述a‑Si层侧的表面的所述基板的工序；将图案形成部件设置在所述透明导电膜上的工序，所述图案形成部件具有形成有覆盖所述透明导电膜的第1区域及使所述透明导电膜露出的第2区域的图案；通过向与所述第2区域对应的部分的所述透明导电膜注入氧、氧离子、氮、氮离子、氮氧化物、及氮氧化物离子中的至少任一个来形成绝缘部，将由所述第1区域覆盖的部分的所述透明导电膜作为导电部进行图案形成的工序；及从所述透明导电膜上去除所述图案形成部件的工序。