[发明专利]十字型探针卡有效
| 申请号： | 201310565733.5 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN103558426B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 代瑞娟;莫保章;席与凌 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种十字型探针卡，包括探针卡板，所述探针卡板用于承载所述功能测试端子；测试端子，所述测试端子分布设置在所述探针卡板的圆周边沿；探针引脚，所述探针引脚与所述待测器件之探针垫对应，呈十字型排布，并设置在所述探针卡盘之中间部位。本发明所述十字型探针卡可同时完成对所述测试单元的横向模组测试和纵向模组测试，且无需进行芯片角度旋转，极大的缩短了WAT测试时间，提高了测试效率。同时，本发明所述十字型探针卡可保证所述探针引脚位于同一平面，避免探针引脚异面导致的WAT测试异常。 | ||
| 搜索关键词： | 字型 探针 | ||
【主权项】：
一种十字型探针卡，其特征在于，所述十字型探针卡包括：探针卡板，所述探针卡板用于承载测试端子；测试端子，所述测试端子分布设置在所述探针卡板的圆周边沿；探针引脚，所述探针引脚与待测器件之探针垫对应，呈十字型排布，并设置在探针卡盘之中间部位，在任一方向上所述探针引脚呈并行交叉排列，所述探针引脚不相互交叉，所述十字型探针卡可同时完成对待测器件的横向模组测试和纵向模组测试，且无需进行芯片角度旋转。
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