[发明专利]十字型探针卡有效
| 申请号： | 201310565733.5 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN103558426B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 代瑞娟;莫保章;席与凌 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 字型 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种十字型探针卡，其特征在于，所述十字型探针卡包括：
探针卡板，所述探针卡板用于承载所述功能测试端子；
测试端子，所述测试端子分布设置在所述探针卡板的圆周边沿；
探针引脚，所述探针引脚与所述待测器件之探针垫对应，呈十字型排布，并设置在所述探针卡盘之中间部位。
2.如权利要求1所述的十字型探针卡，其特征在于，所述分布设置在所述探针卡板之圆周边沿的测试端子的数量为48个。
3.如权利要求1所述的十字型探针卡，其特征在于，所述呈十字型排布，并设置在所述探针卡板之中间部位的探针引脚的数量为24个。
4.如权利要求3所述的十字型探针卡，其特征在于，所述探针引脚呈对称分布设置在所述探针卡板之中间部位。
5.如权利要求1所述的十字型探针卡，其特征在于，所述探针引脚在任一方向上所述探针引脚呈并行交叉排列，所述探针引脚不相互交叉。
6.如权利要求1～4任一权利要求所述的十字型探针卡，其特征在于，所述十字型探针卡可同时完成对所述测试单元的横向模组测试和纵向模组测试，且无需进行芯片角度旋转。
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